王青山是产线调试的技术负责人,从现在开始,产率,良率的问题,主要就🖓💋🐖是他的事情了。
怎么了?”
产品🎩📰🞡的良率不足,也跟现在tft的加工工序次数过多有关系。”
tft的加工工艺,与晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻,成😩🄇膜,清洗,涂光阻胶,曝光,显影,烘干,蚀刻,去光阻胶🙃,检查,都要走一遍🏀🖼。
目前的tft加工工艺,采用的是七🅾🌏♫次光刻的工艺。也就是基板需要通过七次光刻,📘🛈才能完成加工。
而在晶圆芯片的加工过程中,几十次的光刻,是最少的了🜎🁁🂶。这也是为什么晶圆厂的成品率很难提高的缘故。步骤越🇭多,总成品率就越低。
小成,如果🁌🄚你有好的技术,就赶紧拿🅾🌏♫出来吧。”
白学成也在一边加入了战团,进行劝说。
好吧。”
成永兴犹豫了一下,但还是妥协了。这个技术,他是准备保留到下一代的。在历史上,五步光刻法,要过🁾几年才会出现🖛📔。
会议很快就转向了其它议题。
例如国产原料的送检等🂮💊。但这些不影响主要🔎进度。
有,不错,没有,也不怎么值得大家关心。
从🙽🏷🞭全彩员工的角度看,这些都是供应商,用谁的不是用?用国产原料,反而是给大家添麻烦。
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怎么了?”
产品🎩📰🞡的良率不足,也跟现在tft的加工工序次数过多有关系。”
tft的加工工艺,与晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻,成😩🄇膜,清洗,涂光阻胶,曝光,显影,烘干,蚀刻,去光阻胶🙃,检查,都要走一遍🏀🖼。
目前的tft加工工艺,采用的是七🅾🌏♫次光刻的工艺。也就是基板需要通过七次光刻,📘🛈才能完成加工。
而在晶圆芯片的加工过程中,几十次的光刻,是最少的了🜎🁁🂶。这也是为什么晶圆厂的成品率很难提高的缘故。步骤越🇭多,总成品率就越低。
小成,如果🁌🄚你有好的技术,就赶紧拿🅾🌏♫出来吧。”
白学成也在一边加入了战团,进行劝说。
好吧。”
成永兴犹豫了一下,但还是妥协了。这个技术,他是准备保留到下一代的。在历史上,五步光刻法,要过🁾几年才会出现🖛📔。
会议很快就转向了其它议题。
例如国产原料的送检等🂮💊。但这些不影响主要🔎进度。
有,不错,没有,也不怎么值得大家关心。
从🙽🏷🞭全彩员工的角度看,这些都是供应商,用谁的不是用?用国产原料,反而是给大家添麻烦。
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